Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und Bioverfahrenstechnik IGBBei plasmadiagnostischen Methoden muss man zwischen nicht-invasiven und invasiven Methoden unterscheiden. Da invasive Methoden wie zum Beispiel Sonden das Plasma verändern können, wenden wir am Fraunhofer IGB hauptsächlich nicht-invasive optische Methoden an:
- Mikrowellen-Interferometrie zur Bestimmung der Elektronendichte
- laserinduzierte Fluoreszenz zur ortsaufgelösten
- Bestimmung von Teilchendichten im Plasma
- optische Emissionsspektroskopie zum Nachweis emittierender Spezies
- Oberflächentemperaturdetektion durch Messung der Fluoreszenzabklingzeit eines angeregten Kristalls
Als invasive Methoden nutzen wir
- Massenspektrometrie (wenig invasiv) zum Tracing chemischer Reaktionen im Plasma und
- Langmuir-Sonden zur Messung der Elektronenenergieverteilung, der Elektronen- und Ionendichte.